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Y2O3 Coating用于半导体DRY ETCH设备的表喷涂,可以有效吸附工艺制程中的污染物,Y2O3涂层具有耐刻蚀,耐磨等优异性能,可以提高设备备件的使用寿命,降低客户更换设备备件所需成本。
产品型号:INNER LINER;UPPER ELECTRODE;GAS INTECTOR;
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发布时间:2019-05-23 00:00:00
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