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中国半导体及干式真空泵领导者
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规格参数
GLS系列干泵是面板显示、太阳能等清洁工艺应用的新选择。
◆两段式螺旋设计，可降低功率并减少压缩热
◆螺旋转子采用独特非对称线型，密封性佳，不易磨损
◆排气路径短且单纯，反应物易排出
◆结构简单，零部件少，运转可靠且维修容易
◆完善的制造技术和设计，实现低振动低噪音运行
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发布时间：2019-05-23 00:00:00
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