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TEL密封圈

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TEL密封圈

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密封圈

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参数

规格参数

产品描述：是为6G、8.5G、10.5G中DRY ETCH工艺中TEL设备开发的密封圈。有VITON、高氟和全氟材质。相对于其他厂家同类产品，具有更加优异的等离子体耐性；耐高温性，可长期在300℃下使用；良好的压缩永久变形性和低膨胀系数。

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发布时间：2019-05-23 00:00:00

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PROCESS	GEN.	Material	SIZE
PROCESS	GEN.	Material	SIZE
DRY ETCH	6G	FKM/FFKM	2780*6.98
	6G	Viton/FKM	2815*8.4
	8.5G	FKM/FFKM	3770*8.40
		Viton/FKM	3815*8.40
		FFKM	1520*6.98
		Viton/FKM/FFKM	1511*3.53
		Viton/FKM	3046*5.33
	10.5G	FKM/FFKM	4640*8.40
		Viton/FKM/FFKM	2752*3.53
		Viton/FKM	4100*5.33