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产品描述:是为6G、8.5G、10.5G的DRY ETCH工艺中VAT设备特别开发的全氟醚密封圈。具有:卓越的等离子体耐性;优秀的耐磨损性;耐超高温性;粉尘最少化和良好的压缩永久变形性。
PROCESS
GEN.
Material
SIZE
DRY ETCH
6G 8.5G 10.5G
FFKM
AS568A-278
AS568A-279
AS568A-280
AS568A-329
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