磁悬浮分子泵
- 详细描述
-
- 商品名称: 磁悬浮分子泵
● 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势，能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求; ● 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转，并可实现各个方位安装； ● 磁轴承系统自身带有位移传感器，易于实现转子在线动平衡； ● 通过对磁轴承转子不平衡控制，实现转子绕其惯性主轴旋转，降低因转子旋转带来的同频振动； ● 完善的磁轴承故障诊断方法，降低产品故障的风险，延长产品的使用寿命。 ● 应用设备：刻蚀机、金属沉积系统、硅外延系统、PVD、CVD、SiC晶体生长系统等。
● 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势，能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求；
● 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转，并可实现各个方位安装；
● 磁轴承系统自身带有位移传感器，易于实现转子在线动平衡；
● 通过对磁轴承转子不平衡控制，实现转子绕其惯性主轴旋转，降低因转子旋转带来的同频振动；
● 完善的磁轴承故障诊断方法，降低产品故障的风险，延长产品的使用寿命。应用设备：刻蚀机、金属沉积系统、硅外延系统、PVD、CVD、SiC晶体生长系统等
技术参数
型号 GTP-M2201 GTP-M3400 GTP-M4500 子项 GTP-M2201 GTP-M2201C GTP-M3400 C(V) GTP-M3400 B(V) GTP-M4500 C(V) GTP-M4500 B(V) 进气法兰尺寸 VG200/IS0200F/
ICF253
VG250/IS0250F/
ICF305
VG250/ISO250F/
ICF305
VG300/ISO320F/
VG350
VG300 ISO320F ICF350/VG400/
ISO400F/ICF458
排气口法兰尺寸 KF40 KF40 KF40 N2抽速(L/s) 1850 2200 2700 3200 3800 4000 4300 Ar抽速(L/s) 1650 2000 2400 2800 2700 压缩比N2/ Ar ＞107 >108 >108 极限压强（Pa（Torr）） 10-7（10-9）[烘烤后] 10-7 (10-9) [烘烤后] 10-7 (10-9) [烘烤后] 允许用前级压力（Pa） 255 255 255 最大N2流量（SCCM） 1300 2400 2200 最大Ar流量（SCCM） 700 1700 1900 额定转速(rpm) 36500 27600 24000 备用转速(rpm) 约6000 5000 5000 启动时间(min) ≤8 ≤10 ≤13 停止时间(min) ≤9 ≤16 ≤21 冷却方式 水冷 水冷 水冷 噪声（dB） 55 55 55 安装时间角度 任意 任意 任意 输入电压(V) 200-240 200-240 200-240 无TMS时最大输入功率 750（VA） 1500（VA） 1700（VA） 带TMS时最大输入功率 1050（VA） 1850（VA） 2250（VA） 重量（kg） 45 80 83 109/111 105/111 抽速曲线
产品询价
注意：请留下您的邮箱，我们的专业人员会尽快与您联系！
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地：廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地：武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地：杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地：西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地：上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地：上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地：成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋