多级罗茨真空泵 GMR系列
● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺；可靠性高，使用成本极低；
● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔；
● 低能耗，抗腐蚀，占地面积少。
- 详细描述
- 规格参数
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- 商品名称: 多级罗茨真空泵 GMR系列
● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺；可靠性高，使用成本极低； ● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔； ● 低能耗，抗腐蚀，占地面积少。
● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺；可靠性高，使用成本极低；
● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔；
● 低能耗，抗腐蚀，占地面积少。应用挑战及应用领域
工艺 冷凝 腐蚀 推荐产品 备注 IMP source ● GMR Strip/Ashing GMR Oxide Etch ● GMR Poly Etch ● GMR Metal Etch ● ● GMR 用于6寸与8寸Feb HDP ● GMR -
技术参数
型号 最大抽速 极限真空 进气口径 排气口径 电源电压 额定功率 运行功率 冷却水 氮气 重量 噪音 Model （m3/h） (mbar) （ISO） （NW） （V） （kW） （kW） （L/min） （slm） （kg） dB(A) GMR200 210 ＜1×10-2 63 25 208/380 1.9 0.7 1.9 20-40 140 ＜63 GMR600 630 ＜5×10-3 100 25 208/380 4.8 0.8 2 20-40 203 ＜63 GMR1200 1100 ＜5×10-3 100 25 208/380 4.8 1 2 20-40 203 ＜63 GMR1800 1800 ＜5×10-3 100 40 208/380 6.5 1.7 3.6 20-90 350 ＜63 产品尺寸
型号Model 长（mm） 宽（mm） 高（mm） GMR200 695 290 434 GMR600 685 275 706 GMR1200 685 275 706 GMR1800 901 390 780 抽速曲线
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