多级罗茨真空泵 GLR系列
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、新型显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。
- 详细描述
- 规格参数
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- 商品名称: 多级罗茨真空泵 GLR系列
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低； ● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、新型显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、新型显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。应用挑战及应用领域
工艺 冷凝 推荐产品 loadlock GLR Transfer GLR PVD GLR Coater ● GLR -
技术参数
型号 最大抽速
m³/h极限真空
(mbar)进气口径
ISO排气口径
NW电源电压
V额定功率
kW运行功率
kW冷却水
L/min氮气
slm电源输入接口 重量
kg噪音
dB(A)GLR120 110 0.03 ISO63 NW25 208/380 2.2 0.45 1.5 0~12 HAN 3-40A 69 ＜60 GLR500 500 0.01 ISO63 NW50 208/380 15 5.7 6 7~100 H2MK-100A 350 ＜70 GLR500P 500 0.01 ISO63 NW50 208/380 15 5.7 6 7~100 H2MK-100A 350 ＜70 GLR600 680 0.002 ISO100 NW25 208/380 5 0.8 1.8 0~40 HAN 40A 190 <67 GLR1200 930 0.002 ISO100 NW25 208/380 5 0.9 1.8 0~40 HAN 40A 190 <67 GLR2000 2300 0.007 ISO160 NW50 208/380 26 6.7 6 7~100 H2MK-100A 750 ＜70 GLR2000P 2300 0.007 ISO160 NW50 208/380 26 6.7 6 7~100 H2MK-100A 750 ＜70 GLR3000 3350 0.007 ISO160 NW50 208/380 26 6.7 6 7~100 H2MK-100A 820 ＜70 GLR3000P 3350 0.007 ISO160 NW50 208/380 26 6.7 6 7~100 H2MK-100A 820 ＜70 GLR3500 3500 0.005 ISO160 NW50 208/380 26 9.5 6 4~50 HAN-100A 820 ＜75 GLR5000 3600 0.008 ISO160 NW50 208/380 30 7.5 6 4~12 HAN-100A 970 ＜80 产品尺寸
型号 长
（mm）宽
（mm）高
（mm）GLR120 448 230 275 GLR500 1310 620 682 GLR500P 1310 620 682 GLR600 629 280 650 GLR1200 629 280 650 GLR2000 1310 620 1002 GLR2000P 1310 620 1002 GLR3000 1370 620 1010 GLR3000P 1370 620 1010 GLR3500 1370 620 1070 GLR5000 1370 680 1400 抽速曲线
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