分子泵
● 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势,能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求;
● 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转,并可实现各个方位安装;
● 磁轴承系统自身带有位移传感器,易于实现转子在线动平衡;
● 通过对磁轴承转子不平衡控制,实现转子绕其惯性主轴旋转,降低因转子旋转带来的同频振动;
● 完善的磁轴承故障诊断方法,降低产品故障的风险,延长产品的使用寿命。
● 应用设备:刻蚀机、金属沉积系统、硅外延系统、PVD、CVD、SiC晶体生长系统等。
● GTP-L4400脂润滑分子泵具有较大抽速,可抽除含粉尘气体;
● 适用于光学镀膜、真空炉、真空烧结、环境模拟。
● GTP-G2400脂润滑分子泵可任意角度安装,具有寿命长、节能等优点;
● 适用于太阳能制造、ITO导电玻璃、液晶平板、环境模拟。
● GTP-G1400脂润滑分子泵可任意角度安装,具有寿命长、节能等优点;
● 适用于太阳能制造、ITO导电玻璃、液晶平板、环境模拟。
● 系列分子泵电源是基于IGBT功率器件以及高速可编程器件配合应用的数控电源;
● 其工作状态持久稳定,过载能力强,运行数据准确,具有自动跟踪功能(电源在断电、异常问题处理后自动按当前转速跟踪加速)、刹车功能(使正常运行的分子泵按设定时间内停止)、加速过流、运行过流、减速过压、电源欠压、电源过热、泵过热等保护功能,延长和保护泵的使用寿命。
● GTP-G300脂润滑分子泵具有高转速、振动小、噪声小、寿命长、节能等优点;
● 适用于科学仪器、检漏仪、质谱分析、扫描电镜。
● GTP-H80仪器分子泵是仪器用小型高真空分子泵,为质谱仪等高端仪器的关键功能部件,为仪器提供洁净的超高真空环境;
● 具有体积小、抽速大、极限真空度高、振动小、智能化自动保护、可靠性高和任意角度安装等优点,可以获得洁净的高真空环境;
● 适用于质谱分析、痕量元素分析、电子显微镜,科研设施等场景。
● GTP-H80D仪器分子泵是检漏仪用小型高真空分子泵,具有多个进气口,又叫分流式分子泵,属于高端仪器用分子泵;
● 具备同时为多腔室同时抽气的能力,用户只需采购一台泵即可起到以往2-3台泵的效果,有效降低用户使用成本;结构紧凑,可定制设计,接口灵活,操作方便;
● 适用于检漏、环境监测、科学分析等场景。
● GTP-G800脂润滑分子泵可任意角度安装,具有寿命长、节能等优点;
● 适用于泛半导体装备、光学镀膜、硬质涂层设备。
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地:廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地:武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地:杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地:西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地:上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地:上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地:成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋