多级罗茨真空泵 GMR系列
● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺；可靠性高，使用成本极低；
● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔；
● 低能耗，抗腐蚀，占地面积少。
详细描述
● GMR系列干泵，可应用于清洁工艺以及一般严苛工艺；可靠性高，使用成本极低；
● 主要适用于半导体行业刻蚀与离子注入工艺腔；
● 低能耗，抗腐蚀，占地面积少。
应用挑战及应用领域
| 工艺 | 冷凝 | 腐蚀 | 推荐产品 | 备注 |
| IMPsource | ● | GMR | ||
| Strip/Ashing | GMR | |||
| OxideEtch | ● | GMR | ||
| PolyEtch | ● | GMR | ||
| MetalEtch | ● | ● | GMR | 用于6寸与8寸FAB |
| HDP | ● | GMR |
技术参数
| 型号 | 最大抽速 | 极限真空 | 进气口径 | 排气口径 | 电源电压 | 额定功率 | 运行功率 | 冷却水 | 氮气 | 重量 | 噪音 |
| Model | （m3/h） | (mbar) | （ISO） | （NW） | （V） | （kW） | （kW） | （L/min） | （slm） | （kg） | dB(A) |
| GMR200 | 210 | ＜1×10-2 | 63 | 25 | 208/380 | 1.9 | 0.7 | 1.9 | 20-40 | 140 | ＜63 |
| GMR600 | 630 | ＜5×10-3 | 100 | 25 | 208/380 | 4.8 | 0.8 | 2 | 20-40 | 203 | ＜63 |
| GMR1200 | 1100 | ＜5×10-3 | 100 | 25 | 208/380 | 4.8 | 1 | 2 | 20-40 | 203 | ＜63 |
| GMR1800 | 1800 | ＜5×10-3 | 160 | 40 | 208/380 | 6.5 | 1.7 | 3.6 | 20-90 | 350 | ＜63 |
产品尺寸
| 型号Model | 长（mm） | 宽（mm） | 高（mm） |
| GMR200 | 695 | 290 | 434 |
| GMR600 | 685 | 275 | 706 |
| GMR1200 | 685 | 275 | 706 |
| GMR1800 | 901 | 390 | 780 |
抽速曲线
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地：廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地：武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地：杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地：西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地：上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地：上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地：成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋