多级罗茨真空泵 GLR系列

● GLR系列干泵,可应用于清洁工艺、一般工艺; ● GLR系列干泵适合多样化市场,广泛应用于FPD/LED等行业。

详细描述

● GLR系列干泵,可应用于清洁工艺、一般工艺;
● GLR系列干泵适合多样化市场,广泛应用于FPD/LED等行业。

 

应用挑战及应用领域

 

分类 工艺 冷凝 腐蚀 粉尘 频繁pumping  推荐产品
light PVD       ● GLR系列
LL/TC       ● GLR系列
蒸镀       ● GLR系列
Lami贴合       ● GLR系列
coater PHOTO ●       GLR-P系列

 

技术参数

 

型号 最大抽速 极限真空 进气口径 排气口径 电源电压 额定功率 运行功率 冷却水 氮气 重量 噪音
Model (m3/h) (mbar) (ISO) (NW) (V) (kw) (KW) (L/m) (slm) (kg) dB(A)
GLR3000P 3350 <7×10-3 160 50 208/380 26 8.5 6 4-50 820 <80
GLR2000 2300 <7×10-3 160 50 208/380 26 6.7 6 7-100 750 <70

 

 

产品尺寸

 

型号Model 长(mm) 宽(mm) 高(mm)
GLR3000P 1370 680 1015
GLR2000 1310 620 1002

 

抽速曲线

 

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