精密再生涂层
● Y2O3 Coating用于半导体DRY ETCH设备的表喷涂，可以有效吸附工艺制程中的污染物；
● Y2O3涂层具有耐刻蚀、耐磨等优异性能，可以提高设备备件的使用寿命，降低客户更换设备备件所需成本。
● Y2O3 Coating用于面板显示DRY ETCH设备的表喷涂，可以有效吸附工艺制程中的污染物；
● Y2O3涂层具有耐刻蚀、耐磨等优异性能，可以提高设备备件的使用寿命，降低客户更换设备备件所需成本。
● 面板显示行业设备零部件的精密清洗和运维服务；
● PVD Process Chamber内部腔体。
● 精密清洗可有效管控表面微粒子，同时实现产品表面粗糙度的精准工艺控制。
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