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YAC密封圈

● 适配 6G 干法刻蚀工艺 YAC 设备的低填充全氟醚专用密封圈; ● 在等离子体耐受性、超高温稳定性上表现突出,同时拥有稳定的低压缩永久变形性能与极低产尘特性。
  • 详细描述
  • 规格参数
    • 商品名称: YAC密封圈

    ● 适配 6G 干法刻蚀工艺 YAC 设备的低填充全氟醚专用密封圈; ● 在等离子体耐受性、超高温稳定性上表现突出,同时拥有稳定的低压缩永久变形性能与极低产尘特性。

    ● 适配 6G 干法刻蚀工艺 YAC 设备的低填充全氟醚专用密封圈;

    ● 在等离子体耐受性、超高温稳定性上表现突出,同时拥有稳定的低压缩永久变形性能与极低产尘特性。

  • PROCESS

    GEN.

    Material

    SIZE

     
     

    DRY ETCH

    6G

    FFKM

    1080*6.99

     

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