ICD密封圈
● 适配 6G 干法刻蚀工艺 ICD 设备的低填充全氟醚密封圈；
● 兼具优异等离子体耐受性、卓越耐超高温性能与稳定的低压缩永久变形表现。
- 详细描述
- 规格参数
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- 商品名称: ICD密封圈
● 适配 6G 干法刻蚀工艺 ICD 设备的低填充全氟醚密封圈； ● 兼具优异等离子体耐受性、卓越耐超高温性能与稳定的低压缩永久变形表现。
● 适配 6G 干法刻蚀工艺 ICD 设备的低填充全氟醚密封圈；
● 兼具优异等离子体耐受性、卓越耐超高温性能与稳定的低压缩永久变形表现。
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PROCESS
GEN.
Material
SIZE
DRY ETCH
6G
FFKM
1114*5.33
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