APC阀门密封圈
● 专为 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀（DRY ETCH）工艺真空阀门（VAT）设备开发的专用全氟醚密封圈；
● 具备优异的等离子体耐受性、耐磨损性与耐超高温性，同时实现极低产尘与优异的低压缩永久变形性能。
- 详细描述
- 规格参数
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- 商品名称: APC阀门密封圈
● 专为 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀（DRY ETCH）工艺真空阀门（VAT）设备开发的专用全氟醚密封圈； ● 具备优异的等离子体耐受性、耐磨损性与耐超高温性，同时实现极低产尘与优异的低压缩永久变形性能。
● 专为 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀（DRY ETCH）工艺真空阀门（VAT）设备开发的专用全氟醚密封圈；
● 具备优异的等离子体耐受性、耐磨损性与耐超高温性，同时实现极低产尘与优异的低压缩永久变形性能。
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PROCESS
GEN.
Material
SIZE
DRY ETCH
6G
8.5G
10.5GFFKM
AS568A-278
FFKM
AS568A-279
FFKM
AS568A-280
FFKM
AS568A-329
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