太阳能光伏

应用挑战及应用领域

 

分类 工艺 冷凝 热解 粉尘 推荐产品
拉晶 拉晶     ● GS-S系列
电池片 PECVD      ● GS系列
ALD   ● ● GS系列
LPCVD     ● GS系列

新型一体爪式真空泵 GS系列

● GS系列干泵,可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程,并且可靠性高,使用成本极低; ● 适合多样化市场,广泛应用于太阳能光伏等。
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应用挑战及应用领域

分类 工艺 冷凝 热解 粉尘 推荐产品
组件 层压 ●     GLR-P系列

多级罗茨真空泵 GLR-P系列

● GLR系列干泵,可应用于清洁工艺、一般工艺,并且可靠性高,使用成本极低; ● 适合多样化市场,广泛应用于半导体、面板显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。
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