Merak天璇双层多泵型一体机
- 详细描述
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- 商品名称: Merak天璇双层多泵型一体机
● Merak是一种双层多泵型一体机，采用模块化设计，可灵活集成多种类型真空泵、Chiller等设备，支持按需增减模块，为晶圆厂大幅精简空间，提升单位面积产出； ● 适用于半导体Etch、PVD等多种工艺，显著降低Hookup成本及Facility点位需求，大幅缩短装机时间，助力晶圆厂简化设计、快速部署、安全运营。
● Merak是针对半导体行业ALD WN及重SiO2粉尘等工艺的双层多泵型一体机；
● 通过SEMI S2/S22/F47认证，保障安全运行；设备可抗八级地震，铸就Fab极限安全；
● 一体式水、电、气分配盘面设计，降低Facility POC点位需求，节省Hookup成本；
● 双层叠放排布，可集成达8颗真空泵，大幅精简设备占地空间；
● 可灵活增减设备模块及数量；兼容众多附属设备，支持集成主流真空泵、Chiller、Trap等；
● 统一管理，工厂预制化安装，显著缩短开机时间。
不使用Merak天璇的情况，设备占地空间较大 使用Merak天璇的情况，占地面积减少50%以上
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