Megrez天权等离子集成一体机
● Megrez天权是通嘉针对WN及一些重SiO2粉尘工艺（HARP，PE-TEOS等）开发的等离子集成一体机；
● 集成等离子发生器和真空泵再一个系统中，可安全高效地提升相关工艺中干泵的使用寿命。
- 详细描述
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- 商品名称: Megrez天权等离子集成一体机
● Megrez天权是通嘉针对WN及一些重SiO2粉尘工艺（HARP，PE-TEOS等）开发的等离子集成一体机； ● 集成等离子发生器和真空泵再一个系统中，可安全高效地提升相关工艺中干泵的使用寿命。
● Megrez天权是通嘉针对WN及一些重SiO2粉尘工艺（HARP，PE-TEOS等）开发的等离子集成一体机；
● 集成等离子发生器和真空泵再一个系统中，可安全高效地提升相关工艺中干泵的使用寿命。技术规格
参数 单位 Megrez天权 集成真空泵型号 / GHC5000T 极限真空 mbar 5×10-3 进气口径 / ISO100 排气口径 / NW40 最大抽速 m³/h 7000 电源电压 V 220 KVA / 36.8 满负载电流 FLA 102 冷却水 L/min 18 氮气 slm 96/133 重量 kg 650 噪音 dB(A) ＜75 长 mm 1300 宽 mm 710 高 mm 1981 抽速曲线
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