Alioth玉衡集成式多泵型一体机
● Alioth是一种集成式多泵型一体机（真空泵+尾气处理设备）， 专为提升工艺安全性及设备运行稳定性而设计；
● 可显著降低TCO（总拥有成本）、Hookup成本及Facility点位需求，大幅节省占地面积，缩短装机时间。
- 详细描述
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- 商品名称: Alioth玉衡集成式多泵型一体机
● Alioth是一种集成式多泵型一体机（真空泵+尾气处理设备）， 专为提升工艺安全性及设备运行稳定性而设计； ● 可显著降低TCO（总拥有成本）、Hookup成本及Facility点位需求，大幅节省占地面积，缩短装机时间。
● Alioth是一种集成式多泵型一体机（真空泵+尾气处理设备）， 专为提升工艺安全性及设备运行稳定性而设计；
● 可显著降低TCO（总拥有成本）、Hookup成本及Facility点位需求，大幅节省占地面积，缩短装机时间。应用挑战及应对
半导体工艺 优势 工艺/ 应用挑战易爆燃（H2，SiH4等）重腐蚀 高粉尘 热分解 易冷凝 Footprint&Hookup推荐产品FootprintHookup成本WCVD● ● ● ● ● Alioth 占地面积小更低 PECVD● ● ● ● ● Alioth 占地面积小更低 客户价值
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