Phecda天玑集成单泵型一体机
- 详细描述
-
- 商品名称: Phecda天玑集成单泵型一体机
● Phecda是针对Diffusion、EPI、MOCVD等工艺的集成单泵型一体机，包含干式真空泵和尾气处理设备； ● 具有安全可靠、运行稳定、预测性维护、占地面积更小等优点。
● Phecda是针对Diffusion、EPI、MOCVD等工艺的集成单泵型一体机，包含干式真空泵和尾气处理设备。
产品特点
安全可靠：
● 通过SEMI S2/S6/S8/F47认证，保障安全运行；
● 防回火设计，遏制火焰反流；
● 专用含能气体实时监测，保障安全；
● 全系统保压测漏，避免局部泄露；
● 具备箱体防爆功能，避免全厂疏散，保障人员和设备安全。运行稳定：
● 采用整体BKM设定，易实现系统级联动，减少粉尘倒灌与晶圆报废，有效提升MTBF；
● 显著缩短泵到尾气处理管路，合理管控温度，避免冷凝堵塞，从根源上降低了爆炸风险。预测性维护，降低TCO：
● 提前预警，预测性维护，降低异常宕机导致的Wafer报废损失；
● 降低备件损坏频次，有效降低COO。占地面积更小：
● 模块化设计，单机台设备占地面积较竞品节省16%+。
产品询价
注意：请留下您的邮箱，我们的专业人员会尽快与您联系！
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地：廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地：武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地：杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地：西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地：上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地：上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地：成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋