Mizar开阳集成式一体机
● Mizar开阳组泵是一体式叠泵系统，系统采用机械增压泵-机械增压泵-干泵架构，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，并且可靠性高，使用成本低。
- 详细描述
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- 商品名称: Mizar开阳集成式一体机
● Mizar开阳组泵是一体式叠泵系统，系统采用机械增压泵-机械增压泵-干泵架构，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，并且可靠性高，使用成本低。
● Mizar开阳组泵是一体式叠泵系统，系统采用机械增压泵-机械增压泵-干泵架构，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，并且可靠性高，使用成本低。
应用挑战及应对
工艺 大流量H2（＞100slm）
热分解 推荐产品 HJT PECVD a-Si ● ● Mizar ALD ● ● Mizar 技术规格
参数 单位 Mizar组泵 结构 / Stacked 上泵 / GMB6000 下泵 / GS3000 长*宽*高 mm 1525*800*1662 最大抽速 m³/h 7000 极限真空 mbar ＜5×10-4 进气口径 / ISO250 排气口径 / NW40 电源电压 / 380-480V-3Ø-50/60Hz-3W+Gnd/PE 额定功率 kw 7.5+18.5 运行功率 kw 1.9+7.3 冷却水流量 lpm 15 氮气流量 slm 96/133 最大噪音 dB(A) ＜75 重量 kg 1450 抽速曲线
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