多级罗茨真空泵 GLR系列
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、面板显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业
- 详细描述
- 规格参数
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- 商品名称: 多级罗茨真空泵 GLR系列
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低 ● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、面板显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业
● GLR系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺，并且可靠性高，使用成本极低；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、面板显示、LED、锂电和太阳能光伏等行业。应用挑战及应用领域
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技术参数
型号 最大抽速 极限真空 进气口径 排气口径 电源电压 额定功率 运行功率 冷却水 氮气 重量 噪音 Model （m3/h） (mbar) （ISO） （NW） （V） （kw） （KW） （L/m） （slm） （kg） dB(A) GLR120 110 ＜3×10-2 63 25 208/380 2.2 0.45 1.5 0-12 69 ＜60 GLR500 500 ＜1×10-2 63 50 208/380 15 5.7 6 7-100 350 ＜70 GLR2000 2300 ＜7×10-3 160 50 208/380 26 6.7 6 7-100 750 ＜70 GLR3000 3380 ＜7×10-3 160 50 208/380 26 6.7 6 7-100 820 ＜70 GLR3500 3500 ＜5×10-3 160 50 380 26 9.5 6 4-50 820 ＜75 GLR5000 4500 ＜8×10-3 160 50 380 30 7.5 6 4-12 900 <80 产品尺寸
型号Model 长（mm） 宽（mm） 高（mm） GLR120 448 230 275 GLR500 1310 620 682 GLR2000 1310 620 1002 GLR3000 1310 620 1002 GLR3500 1310 620 1002 GLR5000 1310 620 1002 抽速曲线
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