多级罗茨真空泵 GHR系列
● GHR系列干泵，面向高流量H2应用开发，适用于中等及严苛制程，MOCVD、硅外延、碳化硅外延和HJT等工艺，具有抽气能力强、可靠性高等特点；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、LED和光伏等行业。
- 详细描述
- 规格参数
-
- 商品名称: 多级罗茨真空泵 GHR系列
● GHR系列干泵，面向高流量H2应用开发，适用于中等及严苛制程，MOCVD、硅外延、碳化硅外延和HJT等工艺，具有抽气能力强、可靠性高等特点； ● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、LED和光伏等行业。
● GHR系列干泵，面向高流量H2应用开发，适用于中等及严苛制程，MOCVD、硅外延、碳化硅外延和HJT等工艺，具有抽气能力强、可靠性高等特点；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、LED和光伏等行业。应用挑战及应用领域
工艺 高流量H2 推荐产品 MOCVD ● GHC Si EPI ● GHC SiC EPI ● GHC HJT ● GHC -
技术参数
型号 最大抽速 极限真空 进气口径 排气口径 电源电压 运行功率 冷却水 氮气 重量 噪音 Model (m3/h) (mbar) (ISO) (NW) （V） （kW） (L/min) （slm） （kg） dB(A) GHR600 600 ＜5×10-3 50 40 380-480 4.5 8 0-60 390 ＜75 GHR700 650 ＜5×10-3 50 40 380-480 3.2 8 0-60 410 ＜75 产品尺寸
型号Model 长（mm） 宽（mm） 高（mm） GHR600 1016 400 806 GHR700 1000 400 806 抽速曲线
产品询价
注意：请留下您的邮箱，我们的专业人员会尽快与您联系！
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地：廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地：武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地：杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地：西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地：上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地：上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地：成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋