多级罗茨真空泵 GHR系列
● GHR系列干泵，面向高流量H2应用开发，适用于中等及严苛制程，MOCVD、硅外延、碳化硅外延和HJT等工艺，具有抽气能力强、可靠性高等特点；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、LED和光伏等行业。
详细描述
● GHR系列干泵，面向高流量H2应用开发，适用于中等及严苛制程，MOCVD、硅外延、碳化硅外延和HJT等工艺，具有抽气能力强、可靠性高等特点；
● 适合多样化市场，广泛应用于半导体、LED和光伏等行业。
应用挑战及应用领域
| 工艺 | 高流量H2 | 推荐产品 |
| MOCVD | ● | GHC |
| Si EPI | ● | GHC |
| SiC EPI | ● | GHC |
| HJT | ● | GHC |
技术参数
| 型号 | 最大抽速 | 极限真空 | 进气口径 | 排气口径 | 电源电压 | 运行功率 | 冷却水 | 氮气 | 重量 | 噪音 |
| Model | (m3/h) | (mbar) | (ISO) | (NW) | （V） | （kW） | (L/min) | （slm） | （kg） | dB(A) |
| GHR600 | 600 | ＜5×10-3 | 50 | 40 | 380-480 | 4.5 | 8 | 0-60 | 390 | ＜75 |
| GHR700 | 650 | ＜5×10-3 | 50 | 40 | 380-480 | 3.2 | 8 | 0-60 | 410 | ＜75 |
产品尺寸
| 型号Model | 长（mm） | 宽（mm） | 高（mm） |
| GHR600 | 1016 | 400 | 806 |
| GHR700 | 1000 | 400 | 806 |
抽速曲线
微信公众号
北京通嘉宏瑞科技股份有限公司
电话: 010-86229784/010-53359485
总部地址: 北京市经济技术开发区科创十五街1号院
河北基地：廊坊市固安县工业区南区环保产业园9号楼
湖北基地：武汉市东西湖区径河街道临空港大道366号商大厦附五楼
浙江基地：杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢
陕西基地：西安市高新区丈八五路46号2幢
上海基地：上海市浦东新区毕升路299弄富海商务苑9号楼
闵行基地：上海市闵行区绥江路99号4幢
四川基地：成都市双流区成都双流经济开发区黄甲街道付家街665号第9栋