分子泵 GTP-G300

● GTP-G300脂润滑分子泵具有高转速、振动小、噪声小、寿命长、节能等优点; ● 适用于科学仪器、检漏仪、质谱分析、扫描电镜。

分子泵 GTP-H80

● GTP-H80仪器分子泵是仪器用小型高真空分子泵,为质谱仪等高端仪器的关键功能部件,为仪器提供洁净的超高真空环境; ● 具有体积小、抽速大、极限真空度高、振动小、智能化自动保护、可靠性高和任意角度安装等优点,可以获得洁净的高真空环境; ● 适用于质谱分析、痕量元素分析、电子显微镜,科研设施等场景。

分子泵 GTP-H80D

● GTP-H80D仪器分子泵是检漏仪用小型高真空分子泵,具有多个进气口,又叫分流式分子泵,属于高端仪器用分子泵; ● 具备同时为多腔室同时抽气的能力,用户只需采购一台泵即可起到以往2-3台泵的效果,有效降低用户使用成本;结构紧凑,可定制设计,接口灵活,操作方便; ● 适用于检漏、环境监测、科学分析等场景。

半导体

适配工艺:MOCVD,PECVD,LPCVD,SACVD,ALD,Etch,HDP,Coater,EPI等

太阳能光伏

适配工艺:拉晶,PECVD,LPCVD,ALD,层压等

新型显示

适配工艺:PVD,PECVD,Etch,LL/TC,蒸镀,Lami贴合,PHOTO等

锂电

适配工序:匀浆,脱气,真空干燥,叠片,组装,注液,EOL检测等

分子泵 GTP-G800

● GTP-G800脂润滑分子泵可任意角度安装,具有寿命长、节能等优点; ● 适用于泛半导体装备、光学镀膜、硬质涂层设备。

半导体行业 Y2O3 Coating

● Y2O3 Coating用于半导体DRY ETCH设备的表喷涂,可以有效吸附工艺制程中的污染物; ● Y2O3涂层具有耐刻蚀、耐磨等优异性能,可以提高设备备件的使用寿命,降低客户更换设备备件所需成本。
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