● Megrez天权是通嘉针对WN及一些重SiO2粉尘工艺（HARP，PE-TEOS等）开发的等离子集成一体机；
● 集成等离子发生器和真空泵再一个系统中，可安全高效地提升相关工艺中干泵的使用寿命。
● Alioth是一种集成式多泵型一体机（真空泵+尾气处理设备）， 专为提升工艺安全性及设备运行稳定性而设计；
● 可显著降低TCO（总拥有成本）、Hookup成本及Facility点位需求，大幅节省占地面积，缩短装机时间。
● Mizar开阳组泵是一体式叠泵系统，系统采用机械增压泵-机械增压泵-干泵架构，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，并且可靠性高，使用成本低。
● 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势，能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求;
● 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转，并可实现各个方位安装；
● 磁轴承系统自身带有位移传感器，易于实现转子在线动平衡；
● 通过对磁轴承转子不平衡控制，实现转子绕其惯性主轴旋转，降低因转子旋转带来的同频振动；
● 完善的磁轴承故障诊断方法，降低产品故障的风险，延长产品的使用寿命。
● 应用设备：刻蚀机、金属沉积系统、硅外延系统、PVD、CVD、SiC晶体生长系统等。
● GTP-L4400脂润滑分子泵具有较大抽速，可抽除含粉尘气体；
● 适用于光学镀膜、真空炉、真空烧结、环境模拟。
● GTP-G2400脂润滑分子泵可任意角度安装，具有寿命长、节能等优点；
● 适用于太阳能制造、ITO导电玻璃、液晶平板、环境模拟。
● GTP-G1400脂润滑分子泵可任意角度安装，具有寿命长、节能等优点；
● 适用于太阳能制造、ITO导电玻璃、液晶平板、环境模拟。
● 系列分子泵电源是基于IGBT功率器件以及高速可编程器件配合应用的数控电源；
● 其工作状态持久稳定，过载能力强，运行数据准确，具有自动跟踪功能（电源在断电、异常问题处理后自动按当前转速跟踪加速)、刹车功能(使正常运行的分子泵按设定时间内停止)、加速过流、运行过流、减速过压、电源欠压、电源过热、泵过热等保护功能，延长和保护泵的使用寿命。
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