● Y2O3 Coating用于面板显示DRY ETCH设备的表喷涂，可以有效吸附工艺制程中的污染物；
● Y2O3涂层具有耐刻蚀、耐磨等优异性能，可以提高设备备件的使用寿命，降低客户更换设备备件所需成本。
● 面板显示行业设备零部件的精密清洗和运维服务；
● PVD Process Chamber内部腔体。
● 精密清洗可有效管控表面微粒子，同时实现产品表面粗糙度的精准工艺控制。
● 专为 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀（DRY ETCH）工艺真空阀门（VAT）设备开发的专用全氟醚密封圈；
● 具备优异的等离子体耐受性、耐磨损性与耐超高温性，同时实现极低产尘与优异的低压缩永久变形性能。
● 适配 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀工艺 TEL 设备的多材质密封圈系列，覆盖 VITON、高氟、全氟醚全梯度材质选择；
● 对比市场同类产品，本品在等离子体耐受性、高温稳定性上表现更突出，支持 300℃长期使用，同时兼具优异的低压缩永久变形与低膨胀系数特性。
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