密封圈
● 专为 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀（DRY ETCH）工艺真空阀门（VAT）设备开发的专用全氟醚密封圈；
● 具备优异的等离子体耐受性、耐磨损性与耐超高温性，同时实现极低产尘与优异的低压缩永久变形性能。
● 适配 6G/8.5G/10.5G 干法刻蚀工艺 TEL 设备的多材质密封圈系列，覆盖 VITON、高氟、全氟醚全梯度材质选择；
● 对比市场同类产品，本品在等离子体耐受性、高温稳定性上表现更突出，支持 300℃长期使用，同时兼具优异的低压缩永久变形与低膨胀系数特性。
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